真空隔離閘閥在宏爾瑞特應用
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真空隔離閘閥在宏爾瑞特應用真空閘閥技術參數
| 材質 | 本體 | 304 S.S. |
| 閥車 | 304 S.S. | |
| 閘門 | 304 S.S. | |
| Bellows | AM350 | |
| 使用壽命 | 4” (包含)以下 | 100,000 次 |
| 尺寸4”以上 | 50,000 次 | |
| 1大氣壓下之漏率 | <2×10-10std cc / secfor Viton bonnet seal | |
| 耐溫限製 | 開 | 200°CViton bonnet seal |
| 關 | 150°CViton bonnet seal | |
| 使用壓力範圍 | 10-10torr ATM | |
| 大使用壓差 | 開啟前20 torr | |
| 標準密封 | 閘門 | Viton O’ring |
| 上蓋 | Buna N O’ring | |
| 尺寸 | 2”~ 8” | |
| 驅動器 | 電-氣動或手動 | |
| 表麵處理 | 表麵拋砂處理 | |
| 選配 | a.位置指示器 | |
| b.氣動控製電磁閥 | ||
| c.超規加大型接口 | ||
| d.其他材質之密封門O型環 | ||
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